센서

습도센서(Humidity Sensor)

습도센서는 수분의 흡습과 탈습에 의해 전기저항 또는 정전용량값의 변화를 이용하는 원리로
일반적으로 전기저항식 습도센서와 정전용량식 습도센서가 있다.

정전 용량형 습도센서는 감습 물질인 폴리이미드 박막이 수분에 대한 유전율 변화에 따른 정전용량값 변화를 이용하며,
전기저항식 습도센서는 수증기를 흡수한 감습성 고분자 박막의 전기저항 변화를 이용한다.

당사 제품은 폴리머 전문업체와 공동으로 개발한 감습 폴리머를 이용하여 실리콘 웨이퍼 기반 반도체 공정 및
MEMS 기술을 적용하여 IDT 구조의 정전용량형 습도센서를 개발하였다.